1、射频溅射设备，需要在购置前进行环保申报。在进行上述建设项目或使用相关设备前，需按照《电磁辐射防护规定》GB8702-88中的标准，由省级环境保护行政主管部门确认是否达到豁免水平，进行环境保护申报登记。
2、《电磁辐射环境保护管理办法》附件“电磁辐射建设项目和设备名录”中对豁免的项目已做明确规定。
3、第十条 任何单位和个人在从事电磁辐射的活动时，都应当遵守并执行国家环境保护的方针政策、法规、制度和标准，接受环境保护部门对其电磁辐射环境保护工作的监督管理和检查；做好电磁辐射活动污染环境的防治工作。
4、法律分析：凡列入《电磁辐射建设项目和设备名录》中的，都必须补办环境保护申报登记手续。对不符合环境保护标准，污染严重的，要采取补救措施，难以补救的要依法关闭或搬迁。从事电磁辐射活动的单位主管部门负责本系统、本行业电磁辐射环境保护工作的监督管理工作。
5、感应加热设备豁免水平以上的电疗设备工业微波加热设备射频溅射设备建设上列电磁辐射建设项目应在建设项目立项前办理环境保护申报登记手续，使用上列电磁辐射设备应在购置设备前办理环境保护申报登记手续。豁免水平的确认由省级环境保护行政主管部门依据《电磁辐射防护规定》GB8702-88有关标准执行。
6、第十一条从事电磁辐射活动的单位和个人建设或者使用《电磁辐射建设项目和设备名录》（见附件）中所列的电磁辐射建设项目或者设备，必须在建设项目申请立项前或者在购置设备前，按本办法的规定，向有环境影响报告书（表）审批权的环境保护行政主管部门办理环境保护申报登记手续。
1、《电磁辐射环境保护管理办法》于1997年3月25日由国家环保局第十八号局令发布。是为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康，根据《中华人民共和国环境保护法》及有关规定制定的办法。
2、第十条 任何单位和个人在从事电磁辐射的活动时，都应当遵守并执行国家环境保护的方针政策、法规、制度和标准，接受环境保护部门对其电磁辐射环境保护工作的监督管理和检查；做好电磁辐射活动污染环境的防治工作。
3、电疗设备，只有在辐射水平达到或超过豁免标准时才需申报登记。工业微波加热设备，确保安全使用。射频溅射设备，需要在购置前进行环保申报。在进行上述建设项目或使用相关设备前，需按照《电磁辐射防护规定》GB8702-88中的标准，由省级环境保护行政主管部门确认是否达到豁免水平，进行环境保护申报登记。
第一条 为加强对电磁辐射环境保护工作的管理，防止电磁辐射污染环境，保障人体健康，制定本办法。第二条 本办法所称电磁辐射，是指广播电视设施、无线通信设施和雷达等在信息传递中的电磁波发射，高压送变电设施、电气化铁路在运行中产生的电磁辐射，以及工业、科学、医疗设备应用中的电磁辐射。
《电磁辐射环境保护管理办法》于1997年3月25日由国家环保局第十八号局令发布。是为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康，根据《中华人民共和国环境保护法》及有关规定制定的办法。
第二十五条对有下列情况之一的单位和个人，由环境保护行政主管部门给予表扬和奖励：（一）在电磁辐射环境保护管理工作中有突出贡献的；（二）对严格遵守本管理办法，减少电磁辐射对环境污染有突出贡献的；（三）对研究、开发和推广电磁辐射污染防治技术有突出贡献的。
电磁辐射环境保护管理办法中，对在电磁辐射环境保护工作中表现出色的单位和个人，环保部门会给予表扬和奖励。这些贡献包括显著减少环境污染、研究和推广污染防治技术等。举报严重违规行为并经证实的举报者也将得到奖励。然而，对于违反管理办法的行为，环保部门将进行严厉处罚。
